Effect of post-metallization anneal on monolithic co-integration of Hf

0 Người đánh giá. Xếp hạng trung bình 0

Tác giả: Sung-Min Ahn, Jehyun An, Rock-Hyun Baek, Beomjoo Ham, Giryun Hong, Bohyeon Kang, Jongseo Park, Jaeseong Pyo

Ngôn ngữ: eng

Ký hiệu phân loại: 363.737 Measures to prevent, protect against, limit effects of pollution

Thông tin xuất bản: England : Scientific reports , 2025

Mô tả vật lý:

Bộ sưu tập: NCBI

ID: 746591

Hafnium oxide-based ferroelectrics, particularly zirconium-doped HfO

Tạo bộ sưu tập với mã QR