Effect of post-metallization anneal on monolithic co-integration of Hf

 0 Người đánh giá. Xếp hạng trung bình 0

Tác giả: Sung-Min Ahn, Jehyun An, Rock-Hyun Baek, Beomjoo Ham, Giryun Hong, Bohyeon Kang, Jongseo Park, Jaeseong Pyo

Ngôn ngữ: eng

Ký hiệu phân loại: 578.012 Classification

Thông tin xuất bản: England : Scientific reports , 2025

Mô tả vật lý:

Bộ sưu tập: NCBI

ID: 746591

Hafnium oxide-based ferroelectrics, particularly zirconium-doped HfO
Tạo bộ sưu tập với mã QR

THƯ VIỆN - TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ TP.HCM

ĐT: (028) 36225755 | Email: tt.thuvien@hutech.edu.vn

Copyright @2024 THƯ VIỆN HUTECH