MEMS materials and processes handbook

• Tác giả: Reza Ghodssi, Pinyen Lin
• Ngôn ngữ: eng
• ISBN-10: 0387473165
• ISBN-13: 978-0387473161
• Ký hiệu phân loại: 621.381 Electronics
• Thông tin xuất bản: New York ; London : Springer, 2011
• Mô tả vật lý: xxxv, 1187 p. : , ill. ; , 24 cm.
• Bộ sưu tập: Sách tra cứu
• ID: 98007
• Chủ đề: 1. Microelectromechanical systems--Materials; 2. Microelectromechanical systems

Includes bibliographical references and index.