Loại tài liệu:
Chỉ tìm trong:
11-20 trong số 162 kết quả
Near-field terahertz time-domain spectroscopy for in-line electrical metrology of semiconductor integration processes for memory
|
|
Tác giả:
Sunhong Jun, Inkeun Baek, Taejoong Kim, Taeyong Jo, Myungjun Lee, Sungyoon Ryu, Namil Koo, Yusin Yang, Suhwan Park, Eun Hyuk Choi, Jongmin Yoon, Iksun Jeon, Yoonkyung Jang, Martin Priwisch, Wontae Kim, Suncheul Kim
|
Xuất bản:
England:
Communications engineering
,
2025
|
Bộ sưu tập:
NCBI
|
|
|